阴极发光（guāng）是一（yī）种光谱（pǔ）分析方法（fǎ），通过电子束轰（hōng）击材料产生发（fā）光后，用来在局部范围内鉴（jiàn）别材料中的点缺陷和杂质缺陷，应（yīng）用于微电子，半导体材（cái）料，绝缘体，地质学和矿物学等领域。